圓柱形是弧光室最常用的造型，適配多數(shù)通用離子源設(shè)備。該造型受力均勻、密封性佳，能減少離子在腔體內(nèi)的無(wú)序散射，同時(shí)便于加工制造、控制成本，可滿(mǎn)足中低功率離子源的電離需求，廣泛應(yīng)用于常規(guī)晶圓摻雜、材料改性等場(chǎng)景，是性?xún)r(jià)比突出的弧光室造型。

坩堝是最核心的承載類(lèi)蒸發(fā)臺(tái)配件。按材質(zhì)可分為石英坩堝、陶瓷坩堝、金屬坩堝等，石英坩堝適配低熔點(diǎn)材料蒸發(fā)，陶瓷坩堝耐受中高溫，金屬坩堝（如鎢、鉬材質(zhì)）適配高熔點(diǎn)金屬蒸發(fā)，通過(guò)合理承載蒸發(fā)材料，配合加熱組件實(shí)現(xiàn)均勻氣化，是各類(lèi)蒸發(fā)工藝的基礎(chǔ)適配配件。

涂層通過(guò)降低電子逸出功助力離子束增強(qiáng)，這是注入機(jī)離子源燈絲涂層的核心作用。常見(jiàn)的錸、釷等涂層材質(zhì)，可優(yōu)化燈絲表面電子發(fā)射特性，讓電子更易脫離燈絲表面，提升電子發(fā)射效率，進(jìn)而增加等離子體生成量，間接增強(qiáng)離子束密度，適配高劑量離子注入需求。

純鎢材質(zhì)離子源燈絲適配基礎(chǔ)磁控濺射場(chǎng)景。鎢材質(zhì)熔點(diǎn)高、機(jī)械強(qiáng)度佳，可耐受高溫放電工況，且成本適中，適合普通金屬、氧化物靶材的濺射，能滿(mǎn)足中小規(guī)模生產(chǎn)的基礎(chǔ)需求，是應(yīng)用較廣泛的離子源燈絲類(lèi)型之一，但長(zhǎng)期高溫運(yùn)行易出現(xiàn)蠕變、斷裂問(wèn)題。

優(yōu)先依據(jù)注入器束流需求挑選注入機(jī)離子源配件。大離子束注入器側(cè)重高束流輸出，需選用適配高電離效率的配件，如大功率燈絲、大容量弧光室，確保離子產(chǎn)出量滿(mǎn)足高劑量摻雜需求，避免因配件適配不足導(dǎo)致束流衰減、波動(dòng)，影響生產(chǎn)效率。