半導體設備配件中機械類的配件有哪些

半導體設備配件中機械類配件是設備運行的核心結構支撐，覆蓋晶圓制造、刻蝕、薄膜沉積等全工藝環(huán)節(jié)，憑借穩(wěn)定的結構性能與適配能力，適配光刻機、蝕刻機、蒸發(fā)臺等各類半導體設備。這類半導體設備配件品類繁多、功能針對性強，既包含傳動、密封等基礎部件，也涵蓋高精度運動組件，其品質與適配性直接影響設備運行穩(wěn)定性及芯片加工效果，是半導體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控進程中的重要組成部分。

真空系統(tǒng)機械配件是核心品類之一。常見的有真空閥門、CF/KF法蘭及金屬密封圈，真空閥門用于控制管路通斷與氣體流量，法蘭與密封圈則維持腔體密封性能，適配超高真空工藝需求，是半導體設備配件中維系真空環(huán)境的關鍵機械部件，廣泛應用于蝕刻、蒸鍍等工藝設備。

精密傳動與支撐類機械配件不可或缺。角接觸軸承、陶瓷滾子軸承等適配設備高速運轉部件，能同時承受徑向與軸向載荷，通過低發(fā)塵設計適配潔凈環(huán)境；晶圓傳輸機械臂則實現(xiàn)晶圓在不同腔室間的平穩(wěn)轉運，其關節(jié)結構與運動精度適配規(guī)?；a(chǎn)需求，是半導體設備配件中傳動類的代表性部件。

此外，結構類機械配件包括真空腔體、靜電卡盤、噴淋頭等。真空腔體作為工藝執(zhí)行核心空間，需具備耐高溫、抗腐蝕特性；靜電卡盤用于晶圓固定，噴淋頭負責工藝氣體均勻分布，這類半導體設備配件雖結構各異，但均為支撐設備正常運轉、穩(wěn)定工藝效果的基礎部件。